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AC 선형 모터에 의해 구동되고 구르는 볼 가이드에 의해 안내되는 일축 기구가 구축되었다. 구르는 가이드의 미세 역학은 가이드의 볼 그룹이 약 100nm의 변위 내에서 강직한 스프링처럼 동작하며, 100μm 이상의 변위에서는 정상적인 구름이 발생하는 것을 보여준다. 이러한 서로 다른 특성은 거칠고 미세한 위치 지정을 제어하는 데 사용된다. 100nm 해상도, 200mm/s 최대 속도 및 250mm 스트로크를 갖는 거칠기 위치 지정을 달성하였고, 백래시 없이 1nm 보다 나은 해상도를 가진 미세 위치 지정이 이루어진다. 거칠기 위치 지정에서 미세 위치 지점으로의 전환이 연구되었다.
Futami et al. (Sun,) 이 질문을 연구하였다.