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제시된 기사는 촉각 프로브를 사용한 나노측정학에서 매우 작은 치수를 측정하는 데 초점을 맞추고 있습니다. 이는 머신 SIOS NMM-1에서 터치 프로브를 통해 이루어진 정밀 측정의 새로운 방법을 다루고 있습니다. 이 연구의 목적은 이 기계에서의 측정 정확도를 결정하는 것입니다. 이 연구의 주요 기여는 정밀 부품 측정 및 이 장치를 사용할 때의 측정 정확도를 결정하기 위한 방법론의 개발입니다. 이 작업에는 나노측정학에서 측정 정확도를 결정하는 데 중요한 측정 불확실성 계산 방법론도 포함되어 있습니다. 이 기사는 루비 볼 직경의 대표적인 측정 세트 결과를 제공하며, 통계 매개변수의 평가와 결합된 측정 불확실성의 판단을 포함합니다.
Radomír Mendřický (수요일)이 이 질문을 연구했습니다.
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