초음파 필드에 정렬된 마이크로 객체 및 생물학적 세포를 조작하기 위한 통합된 힘 센서를 가진 단일 제작 마이크로그리퍼

이 논문은 통합된 용량성 힘 센서를 가진 정전기 마이크로 전자 기계 시스템(MEMS) 그리퍼를 보고합니다. 감도는 힘 피드백이 있는 다른 단일 제작 MEMS 그리퍼보다 세 배 이상의 높은 수준입니다. 이 힘 감지 해상도는 미세 조작 과정에서 지배적인 힘의 범위에서 피드백을 제공합니다. 초음파 필드를 사용하여 물에 유체 상태로 떠 있는 마이크로 객체의 정렬을 위한 MEMS 초음파 장치가 설명됩니다. 입자의 정렬 정확도가 충분히 높아서 마이크로 그리퍼는 직경이 100마이크로미터 이하인 입자를 집기 위해 고정된 위치로만 돌아가면 됩니다. 이 개념은 HeLa 세포로도 시연되어 생물학 연구 및 세포 분석에서 유용한 도구를 제공합니다.