링형 필드 구속 오리가미 자석 막을 사용한 완전 유연한 전자기 진동 센서

초록 유연한 전자기 센서를 기반으로 한 기계적 운동 감지는 구속되고 향상된 자기장을 가진 유연한 자석 막을 얻는 복잡성으로 인해 도전적입니다. 새로운 다층 유연한 코일 및 링형 오리가미 자석 막으로 구성된 설정 내에서 포함된 유연한 자석을 통해 기계적 변위를 착용하여 모니터링 할 수 있는 완전 유연한 전자기계 시스템(MEMS) 센서가 개발되었습니다. 링형 막은 전체 자기장 분포를 조절하고 전체 자력을 291% 향상시킬 뿐만 아니라, 코일의 전체 영역을 포괄하는 자기장의 범위를 크게 증가시킵니다. 이 센서는 1 Hz에서 10 kHz까지의 폭넓은 주파수 응답과 1.7 kHz에서 0.59 mV µm −1의 민감도를 제공합니다. 센서의 완전 유연한 형식은 생물물리학적 감지, 운동 감지, 음성 인식 및 기계 진단을 소프트하고 곡선형 표면에 직접 부착하여 입증된 다양한 응용을 가능하게 합니다. 유사한 센서는 여러 감지 및 에너지 수확 방식을 결합하여 배터리 없이 자급자족형 운영을 달성할 수 있으며, 기계 상태 평가, 건강 모니터링, 재활 및 음성 지원을 위한 분산 감지를 수행하기 위해 대량 배치될 수 있습니다.