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이전의 동반 논문에서는 가변 각 분광 엘립소메트리(VASE)에 대한 일반적인 소개와 이 기술의 많은 전형적인 응용을 설명합니다. 본 논문에서는 보다 고급 VASE 응용에 대해 논의합니다. 이러한 응용은 IR에서 VUV에 이르는 넓은 스펙트럼 범위에서 극도로 정확한 엘립소메트리 데이터를 수집할 수 있도록 하는 엘립소메트릭 하드웨어의 최근 발전에 의존합니다. 이 기기는 비등방성 샘플의 광학 응답을 정량적으로 측정할 수도 있습니다. 또한 고급 데이터 분석 기술도 제시됩니다.
Johs et al. (Mon,)은 이 질문을 연구했습니다.