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0.5 G-100 G 범위의 전체 스케일 가속도를 위한 새로운 압전 저항 실리콘 가속도계가 설계, 제작 및 테스트되었습니다. 이 이중빔 캔틸레버 장치는 와퍼 수준에서 공기 댐핑과 양방향 과잉 범위 보호를 위해 도입된 실리콘 구조를 통합하여 약 3.4 mm 정사각형 및 1.5 mm 두께의 실리콘/유리 칩을 생성하며, 다양한 구성으로 포장할 수 있고 여러 응용 분야에 사용할 수 있습니다. 비판적인 댐핑과 과잉 댐핑이 500 Hz 이상의 롤오프 주파수에서 시연되었으며, 모든 축에서 1000 G 이상의 충격 생존이 달성되었습니다. 어떤 축에서도 교차 축 감도는 2% 미만입니다. 장치 설계는 유한 요소 모델링(FEM)을 사용하여 감도, 온도 계수, 공진 모드, 교차 축 감도 및 과잉 범위 특성을 평가했습니다. 분석 모델링은 가장 간단한 경우에 대한 FEM 예측을 '벤치마킹'하는 데 사용되었으며, 실험 결과는 FEM과 잘 일치합니다.
Barth 외, (Mon,) 이 질문을 연구했습니다.