단일 웨이퍼에서 다중 접착 결합을 이용한 고효율 풀컬러 무기 LED

초록 단일 체적 통합은 풀 컬러 고해상도 디스플레이를 실현하는 유망한 방법입니다. 그러나 색상 변환 층을 채택한 고효율 풀 컬러 발광 다이오드(LED)를 실현하는 것은 여전히 도전입니다. 본 연구에서는 고품질 에피택시층을 위한 각각의 기판에서 성장한 빨강, 초록, 파랑 무기 LED 박막을 다중 접착 결합 기술을 사용하여 단일 기판에 통합하였습니다. 적층된 박막이 구조적으로 안정하다는 것을 확인하였습니다. 다중 접합 후, 표준 포토리소그래피만을 사용하여 대량 전송 과정 없이 각각의 서브픽셀이 형성되며, 이는 고해상도 마이크로 LED 디스플레이에 적용할 수 있는 가능성을 보여줍니다. 결합 후에도 장치는 성능 저하 없이 여전히 높은 효율을 유지합니다. 통합된 서브픽셀은 입력 전력을 제어하여 독립적으로 작동할 수 있을 뿐만 아니라, 조명 방출도 Rec.2020 색 공간에 비해 약 83%에 해당하는 넓은 색 공간을 커버할 수 있습니다.