سلوك إزالة الجزيئات للمواد السطحية المركبة أثناء عملية التنظيف بعد CMP للرقائق ذات الأنماط المشتركة

Key Points

• تمت ملاحظة تعزيز إزالة الجزيئات خلال عملية التنظيف بعد CMP، مما يظهر فاعلية أفضل.
• تساعد المواد السطحية المركبة في إزالة الجزيئات عبر مختلف توترات السطح والظروف.
• تحليل المواد السطحية المركبة يظهر تأثير خصائصها الفريدة على فعالية تنظيف ما بعد CMP.
• يمكن أن تؤدي استراتيجيات التنظيف المحسنة إلى تحسين جودة الرقائق ذات الأنماط المشتركة، والتي تعتبر حيوية في تصنيع أشباه الموصلات.