مصحح التشوهات الإلكترونيات المعتمد على الضوء

الملخص: لقد أعاق تحقيق الدقة الذرية في المجهر الإلكتروني تاريخياً بسبب التشوه الكروي، وهو قيد أساسي للعدسات الإلكترونية التقليدية. عادة ما يتطلب تصحيحه تجميعات معقدة من المجال الكهربائي المغناطيسي المتعدد الأقطاب. هنا نوضح أنه يمكن تعويض التشوه الكروي من الدرجة الثالثة في عدسة إلكترونية متناظرة اسطوانياً مع معامل تشوه مرتبط بقيمة C s ≈ 2.5 m تقريباً إلى صفر تقريباً من خلال التفاعل مع حقل ضوئي مشكل. من خلال تحليل التشوهات في صور الإلكترون عالية التكبير من الموجات الضوئية الثابتة، نقوم بت quantifying التشوه الكروي قبل وبعد التصحيح الناتج عن الضوء. يتم تحديد التوزيع المكاني للحقل الضوئي التصحيحي بدقة في الموقع باستخدام المجهر الإلكتروني الناقل ذات الأبعاد الأربعة السريعة للغاية التي تستغل انحراف الإلكترونات المتولد عن القوة الضوئية. مثل هذا النهج الم دمج لتوصيف وتصحيح يعد بمثابة نموذج جديد للتحكم الضوئي في حزم الإلكترونات ويفتح الطريق نحو مصححات ضوئية مضغوطة وقابلة للضبط للمجهر الإلكتروني عالي الدقة.