마이크로유체 및 마이크로공학을 위한 벌크 실가드 184의 기계적 특성

폴리디메틸실록산(PDMS) 엘라스토머는 마이크로유체 및 마이크로공학 응용에서 마이크로구조의 소프트 리소그래픽 복제를 위해 광범위하게 사용됩니다. 엘라스토머 마이크로구조는 명시적인 기계적 역할을 충족해야 하는 경우가 많으며, 따라서 이들의 기계적 특성은 장치 성능에 중요한 영향을 미칠 수 있습니다. 엘라스토머의 기계적 특성은 경화 및 작동 온도에 따라 변하는 것으로 알려져 있습니다. 그러나 마이크로유체 응용에서 가장 일반적으로 사용되는 엘라스토머인 실가드 184에 대해서는 경화 온도에 따른 벌크 PDMS의 기계적 특성 변동에 대한 데이터가 매우 제한적으로 존재합니다. 우리는 25°C에서 200°C의 범위 내에서 경화 온도에 따른 벌크 실가드 184의 기계적 특성 변동에 대한 조사를 보고합니다. 인장 및 압축 시험을 위한 PDMS 샘플은 ASTM 표준에 따라 제작되었습니다. 얻어진 데이터는 영률이 1.32-2.97 MPa, 최종 인장 강도가 3.51-7.65 MPa, 압축 모듈러스가 117.8-186.9 MPa, 최종 압축 강도가 28.4-51.7 GPa 및 최대 40% 변형률의 경도 범위가 44-54 Sh A에서 경화 온도에 따라 기계적 특성이 변함을 나타냅니다.