プラズマ処理中の基板へのrfプラズマからのエネルギー流入

rfプラズマが金属基板に供給するエネルギー流入は、熱プローブを用いた熱量測定法で研究されてきた。基板電圧を変えることで、荷電キャリアの運動エネルギーが熱出力に与える影響を決定できた。アルゴンプラズマにおける測定されたエネルギー流入は、主にイオン、電子、およびそれらの再結合によって説明できる。酸素プラズマの場合、エネルギー流入が同様の条件下で約50％高くなるため、表面支援原子結合や振動回転状態の緩和などの他の移動機構も考慮する必要がある。