실리콘 비구면 광학을 위한 하이브리드 제작 접근법 및 프로파일 오류 보상

비구면 광학은 경량, 비용 효율성 및 효율성과 같은 장점 때문에 많은 광학 응용 분야에서 널리 사용됩니다. 적외선 기반 응용 분야에 사용되는 비구면 광학의 품질에 영향을 미치는 많은 제작 문제가 있습니다. 다이아몬드 터닝은 결정론적 접근 방식 덕분에 높은 프로파일 정밀도로 적외선 비구면 렌즈를 제작하는 데 가장 적합한 기술 중 하나입니다. 그러나 큰 요철 값을 가진 광학 소자의 경우 가장 적합한 표면을 만들기 위해 여러 가공 사이클이 필요합니다. 반복적인 가공 사이클은 고유한 응력을 생성하여 서브서피스 변형 및 품질 저하를 초래합니다. 이 연구에서는 대량의 실리콘 적외선 광학 제작을 위해 연삭과 가공의 하이브리드 접근법을 제안합니다. 제안된 접근법은 제작 시간을 단축하고 서브서피스 변형을 줄이며 표면 품질과 공구 수명을 향상시킵니다. 프로파일 오류 보상 후 프로파일 정밀도(P t)는 0.21 µm, 표면 거칠기(R a)는 10.5 nm에 달합니다.