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초록 미니어처 포인트 오브 케어 화학/생화학 센서에 대한 수요는 지난 50년 동안 필드 효과 트랜지스터(FET) 기반 pH 센서의 개발을 이끌었습니다. 본 논문은 FET 기반 pH 센서에 사용되는 제작 기술, 장치 구조, 감지 필름 재료 및 모델링 기법을 리뷰하는 것을 목표로 합니다. 우리는 전위차 센서의 지배 원리를 제시하며, 이온 민감 FET(ISFET)의 작동 원리에 주요 초점을 맞춥니다. 우리는 ISFET의 감지 성능에 중요한 다양한 기술로 침착된 감지 필름 재료를 폭넓게 리뷰합니다. 인기 있는 제작 기술이 소개되었으며, 이중 게이트 효과를 활용하여 높은 감도를 달성할 수 있는 최신 실리콘-온-절연체 기반 기술에 특별한 강조를 두었습니다. 또한, 최근의 나노-ISFET 발전이 설명되었습니다. 우리는 또한 표준 CMOS 프로세스를 사용하여 수정되지 않은 보완 금속 산화반도체(CMOS) ISFET의 채택에 대해 논의합니다. 이것은 이온 이미징 애플리케이션에 특히 적합한 통합 ISFET 배열의 제작을 가능하게 하였습니다. 더 나아가, 유연한 설계 및 제작 용이성 덕분에 착용 가능한 센서 애플리케이션에 바람직한 연장 게이트 FET의 최근 개발이 논의되었습니다. 마지막으로, 센서 설계 및 특성화에 도움이 되는 다양한 컴퓨터 지원 설계 도구를 사용하여 ISFET 장치 모델링 및 시뮬레이션 기법을 폭넓게 리뷰하였습니다.
Sinha et al. (Sun,)는 이 질문을 연구하였습니다.