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Os resultados de estudos das propriedades físicas e mecânicas de sistemas multicamadas de nitreto e carbeto baseados em ((TiZrNbTa)N, dependendo dos métodos de deposição e tratamento térmico são analisados e resumidos. Os revestimentos foram depositados por pulverização magnetron. Estudos das amostras de liga originais e processadas foram realizados em um laboratório de engenharia regional. Quando doses extremamente altas de íons N + (10 18 cm -2 ) são introduzidas em revestimentos nanostruturados (TiZrNbTa)N, uma estrutura multicamada é formada, consistindo em camadas amorfas, nano-cristalinas (dispersas) e nanostruturadas. A dureza dos revestimentos diminui para 12 GPa na região próxima à superfície e, em seguida, aumenta com a profundidade, atingindo um máximo de 23 GPa em grandes profundidades ≥ 200 nm. A pulverização de uma pequena camada da superfície do revestimento, levando à eliminação da fração de gotículas formada durante a erosão do cátodo durante a pulverização em arco a vácuo, é a razão para a diminuição da microdureza das amostras implantadas.
Kasymbaev et al. (Sex,) estudaram esta questão.