Sistemas microeletromecânicos (MEMS) surgiram como uma tecnologia poderosa para metasuperfícies reconfiguráveis e nanofotônica, proporcionando controle dinâmico, de baixa potência e escalável sobre funcionalidades ópticas que são inerentemente fixas em dispositivos nanofotônicos estáticos. Ao introduzir graus de liberdade mecânicos, a nanofotônica e as metasuperfícies habilitadas por MEMS permitem a modulação em tempo real de ressonâncias ópticas, força de acoplamento, perfis de fase e características de radiação em uma ampla faixa espectral. Essa capacidade abriu novas oportunidades para sensores adaptativos, fontes de radiação sintonizáveis, plataformas fotônicas de silício reconfiguráveis, metalenses dinâmicas e metasuperfícies terahertz. Nesta revisão, apresentamos uma visão abrangente dos recentes avanços na nanofotônica e nas metasuperfícies reconfiguráveis habilitadas por MEMS, com foco particular nos desenvolvimentos orientados por aplicações em sensoriamento, fontes de radiação baseadas em metasuperfícies, fotônica de silício integrada, óptica plana e sistemas terahertz. Além disso, discutimos tendências emergentes em direção a sistemas nanofotônicos inteligentes e programáveis habilitados por design assistido por inteligência artificial e controle em loop fechado. Finalmente, delineamos os desafios remanescentes e as perspectivas futuras para traduzir a nanofotônica reconfigurável habilitada por MEMS de demonstrações laboratoriais para aplicações práticas em larga escala.
Li et al. (Ter,) estudaram essa questão.