Este artigo discute o controle do movimento da placa litográfica em scanners de ultravioleta extremo usando algoritmos de desempenho ótimo. A relevância do tema se deve aos novos requisitos da indústria de semicondutores para precisão de posicionamento durante a exposição de substratos de silício. Questões decorrentes de oscilações indesejadas — causadas por drives magnetoestríticos — são abordadas. Uma abordagem baseada no princípio do máximo de Pontryagin e métodos de controle em modo deslizante é proposta para amortecer oscilações. Várias funções de controle, incluindo a função de signum e a tangente hiperbólica, são investigadas para minimizar o impacto negativo das oscilações no sistema mecânico. Resultados de simulação mostram que o uso de funções de controle suaves suprime efetivamente as oscilações e aumenta a precisão de posicionamento, o que é crítico para a fabricação de circuitos integrados complexos.
Petrakov et al. (Wed,) estudaram esta questão.