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Filmes finos em escala nanométrica são amplamente utilizados em uma variedade de áreas tecnológicas e científicas, e formam a base para muitos avanços que têm impulsionado o progresso humano, devido ao alto grau de ajustabilidade funcional com base na composição química. A deposição a laser pulsado é uma das múltiplas rotas de deposição de vapor físico para fabricar filmes finos, empregando energia laser para ejetar material de um alvo na forma de um plasma. Um substrato, comumente um óxido de cristal único, é colocado no caminho da pluma e atua como um molde para as espécies que chegam do alvo se coalescerem e se auto-organizarem em um filme fino. Esta técnica é extremamente útil para produzir filmes cristalinos, devido à ampla gama de condições atmosféricas e à extensão de possível complexidade química do alvo. No entanto, essa flexibilidade resulta em um alto grau de complexidade, muitas vezes exigindo uma otimização rigorosa dos parâmetros de crescimento para alcançar filmes cristalinos de alta qualidade com a composição desejada. Neste artigo tutorial, nosso objetivo é reduzir a complexidade e a barreira de entrada para o crescimento controlado de óxidos complexos por meio da deposição a laser pulsado. Apresentamos uma visão geral dos aspectos fundamentais e práticos da deposição a laser pulsado, discutimos as consequências da customização dos parâmetros de crescimento nas propriedades do filme fino e descrevemos técnicas de monitoramento in situ que são úteis para obter uma compreensão mais profunda das propriedades dos filmes resultantes. Particular ênfase é dada às relações gerais entre os parâmetros de crescimento e as consequentes propriedades estruturais, químicas e funcionais dos filmes finos. Na seção final, discutimos as perguntas em aberto dentro do campo e possíveis direções para expandir ainda mais a utilidade da deposição a laser pulsado.
Shepelin et al. (Sun,) estudaram essa questão.