Sensor de pressão piezorresistivo baseado em grafeno

Apresentamos um sensor de pressão baseado no efeito piezorresistivo do grafeno. O sensor é uma膜 de nitreto de silício quadrada de 100 nm de espessura e 280 μm de largura, com padrões de meandro de grafeno localizados na área de máxima deformação. O grafeno policristalino em multicapas foi obtido por deposição química de vapor. A deformação no grafeno foi gerada aplicando pressão diferencial na membrana. A simulação de elementos finitos foi utilizada para analisar a distribuição de deformação. Ao realizar medições eletromecânicas, obtivemos um fator de sensibilidade de ∼1,6 para o grafeno e uma faixa dinâmica de 0 mbar a 700 mbar para o sensor de pressão.