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Os microfones MEMS piezoelétricos têm sido pesquisados por mais de 30 anos. Apesar de muitas vantagens, eles não tiveram uso generalizado porque a relação sinal-ruído (SNR) tem sido ruim em comparação com microfones MEMS capacitivos. Este trabalho descreve microfones MEMS piezoelétricos, utilizando nitreto de alumínio como material piezoelétrico, com uma SNR melhor do que muitos microfones MEMS capacitivos disponíveis no mercado hoje. Além disso, este trabalho descreve e mede as fontes de ruído nesses microfones. Microfones MEMS piezoelétricos com SNR de 66 dB e 68 dB são apresentados.
Littrell et al. (Thu,) estudaram esta questão.
Synapse has enriched 5 closely related papers on similar clinical questions. Consider them for comparative context: