Modelo de amortecimento viscoso para microestruturas oscilantes lateralmente

A perda de energia viscosa em amortecedores de filme fluido oscilantes que fornecem cisalhamento friccional para microestruturas planas acionadas lateralmente é investigada. Descobriu-se que modelos de movimento de fluido do tipo Stokes modelam o amortecimento viscoso de forma mais precisa do que o campo de fluxo do tipo Couette. Este artigo caracteriza a propriedade de amortecimento de uma camada de fluido em termos de dissipação de energia viscosa, e então deriva fórmulas analíticas de amortecimento para estimativa prática de Q. Os fatores Q teóricos são comparados aos valores experimentais, medidos a partir de ressonadores de polissilício micromecanizados na superfície. Dados reportados por pesquisadores anteriores também são analisados e comparados. Os resultados experimentais indicam que o modelo de amortecimento do tipo Stokes apresenta um tratamento de amortecimento mais geral com melhor estimativa de Q, embora discrepâncias de 10 a 20% ainda permaneçam entre o Q estimado e o medido.