Key points are not available for this paper at this time.
Dados de espectroscopia elipsométrica em tempo real (SE) coletados durante a nucleação e crescimento de filmes finos de silício amorfo hidrogenado (a-Si: H) foram analisados aplicando modelos ópticos de uma e duas camadas que incorporam diferentes teorias de meio efetivo (EMT's). O objetivo das EMT's é simular as funções dieleétricas das camadas de nucleação e rugosidade superficial microscopicamente inhomogêneas utilizadas nos modelos. Cinco EMT's de um parâmetro foram considerados neste estudo para a caracterização de três classes de camadas microscopicamente inhomogêneas, incluindo (i) camadas nucleantes de 5 a 20 de espessura consistindo em aglomerados isolados de a-Si: H sobre o substrato subjacente, (ii) camadas de rugosidade superficial induzidas pela nucleação de 10 a 15 de espessura em filmes muito finos de a-Si: H (200), e (iii) camadas de rugosidade superficial induzidas pelo substrato de 40 a 80 de espessura em filmes mais espessos de a-Si: H (>2500). Em todas as três aplicações, a aproximação de meio efetivo de Bruggeman (EMA) fornece os melhores ajustes gerais à evolução temporal dos dados de SE, e complexidades além da simples EMA de um parâmetro não podem ser justificadas em vista das limitações experimentais existentes. Além disso, muitas das características gerais de nucleação, coalescência e crescimento de camadas a granel deduzidas na análise de SE e usadas em estudos anteriores para entender e otimizar a fabricação de materiais e dispositivos, são consideradas essencialmente independentes da EMT utilizada na análise.
Fujiwara et al. (Sat,) estudaram esta questão.