Perspectivas da Espectroscopia de Emissão Óptica Resolvida em Fase como uma Ferramenta de Diagnóstico Poderosa para Descargas RF

Resumo A espectroscopia de emissão óptica resolvida em fase (PROES) possui um potencial considerável para diagnósticos de descargas RF que fornecem uma visão detalhada das variações espaciais e temporais dos processos de excitação. Com base em medições resolvidas em fase e espaço da dinâmica populacional dos estados excitados, várias técnicas de diagnóstico foram desenvolvidas. Resultados para uma descarga RF acoplada capacitivamente em hidrogênio (CCRF) são discutidos como exemplo. A temperatura do gás, o grau de dissociação e a função de distribuição de energia dos elétrons (EEDF) de elétrons energéticos (>12eV) são medidos. Além disso, a excitação por impacto de elétrons pulsados durante a fase de reversão de campo, típica para descargas CCRF em hidrogênio, é utilizada para medições de dados atômicos e moleculares, como tempos de vida de estados excitados, coeficientes para desexcitação colisional sem radiação (coeficientes de quenching) e processos em cascata de estados eletrônicos superiores. (© 2004 WILEY‐VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim)