Optimierung von Cr/Sc-basierten Multilayer-Spiegeln für weiche Röntgenstrahlen im Wasserfenster

Die Entwicklung effizienter Multilayer-Spiegel für das Wasserfenster (ein Spektralbereich zwischen den Absorptionskanten von Kohlenstoff und Sauerstoff, von 284 bis 543 eV) bleibt eine Herausforderung. Als bester Kandidat bietet der Cr/Sc-Multilayer eine maximale theoretische Reflektivität von etwa 60 % bei nahezu senkrechter Inzidenz um die Absorptionskante Sc L 2,3 (397 eV). Allerdings übersteigt die maximal gemessene Spitzenreflexion, die bisher veröffentlicht wurde, nur leicht 20 %. Wir berichten über einen neuen (nach unserem Wissen) Ansatz zur Gestaltung effizienterer Cr/Sc-basierter Multilayer-Beschichtungen, indem wir den Prozess der Nitridierung von Chrom während der Ablagerung anwenden und Borcarbid als drittes Material in die Multilayer-Struktur einfügen. Wir diskutieren unsere Strategie zur Optimierung des CrN/B 4 C/Sc-Multilayersystems basierend auf experimentellen Studien. Die Spitzenreflexion von bis zu 32 % bei 396 eV wurde mit dieser Art von Beschichtung gemessen, was für verschiedene Anwendungen im Wasserfenster wie der Röntgenmikroskopie von großem Interesse ist.