Sinusoidal-Übertragungsgitterspektrometer zur Messung im extremen Ultraviolett

Spektrale Messungen spielen eine entscheidende Rolle beim Verständnis der Laser-Plasma-Interaktionen. Die Fähigkeit, das Spektrum von Strahlungsquellen genau zu messen, ist entscheidend, um die zugrunde liegende Physik zu entschlüsseln. In diesem Artikel stellen wir einen neuartigen Ansatz vor, der die Effizienz von binären sinusoidalen Übertragungsgitterspektrometern erheblich verbessert. Das Gitter wurde speziell für Messungen im extremen Ultraviolett (EUV) maßgeschneidert. Das neue Design, das Hochkontrast-Sinusoidal-Übertragungsgrating (HCSTG), unterdrückt nicht nur hohe Beugungsordnungen und bewahrt die vorteilhaften Eigenschaften früherer Designs, sondern zeigt auch eine vierfache Verbesserung der Effizienz im ersten Ordner. Darüber hinaus bietet das HCSTG aufgrund der effektiven Eliminierung von Halbordnungsbeiträgen aus dem Beugungsmuster eine außergewöhnliche Reinheit im ersten Ordner. Das HCSTG-Spektrometer wurde verwendet, um die Emission von laserproduzierter Sn-Plasma im Spektralbereich von 1-50 nm zu messen, wodurch eine spektrale Auflösung von λ/Δλ = 60 erreicht wurde. Wir bieten eine umfassende Analyse, die die Beugungsmuster verschiedener STGs vergleicht und die Vorteile des HCSTG-Designs hervorhebt. Dieses neuartige, effizienzverbesserte HCSTG-Spektrometer eröffnet neue Möglichkeiten für genaue und empfindliche EUV-Spektralmessungen.