Dreidimensionale Topographie von Hochaspektverhältnis-Rinnen durch probeinduzierte aberrationskompensierbare Kohärenz-Scanning-Interferometrie

Die nichtdestruktive dreidimensionale Topographie von Hochaspektverhältnis-Strukturen stellt erhebliche Herausforderungen dar, insbesondere bei der genauen Erfassung der Bodentopographie. Hier wird eine probeinduzierte, aberrationskompensierbare Kohärenz-Scanning-Interferometrie im nahen Infrarot vorgeschlagen, die die Fähigkeit besitzt, den Boden von Hochaspektverhältnis-Strukturen zu messen und vollständige dreidimensionale Topographien zu rekonstruieren. Während Licht im nahen Infrarot in das Silizium eindringt, um den Durchsatz des Probes zu steigern, bringt die Modulation durch Hochaspektverhältnis-Strukturen die fokussierte Probe am Boden aus dem Gleichgewicht. Um die Modulationscharakteristika zu verstehen und Lösungen zu entwickeln, werden die Finite-Elemente-Methode und die Modellspektraldiffraction kombiniert, um die probeinduzierte Modulation von Hochaspektverhältnis-Proben zu analysieren. Danach wird eine Lösung entwickelt, um die Probe neu zu fokussieren. Folglich wird ein optischer Weg zur Aberrationsdetektion in das Kohärenz-Scanning-Interferometrie-System integriert. Durch die Verwendung der gemessenen Aberrationen als Feedback wird ein aberrationskompensierender Wellenfrontkorrektor im Testarm eingeführt, um die Sonden auf den Boden neu zu fokussieren. Die vorgeschlagene Methode überwindet die Einschränkungen im Zusammenhang mit dem Verhältnis in der dreidimensionalen Topographie. Experimente an Rinnen mit einer Tiefe von ∼200 μm und einem Verhältnis von ∼20:1 zeigen gleichzeitig hohe mikroskopische laterale Auflösung und interferometrische vertikale Präzision für eine genaue dreidimensionale Messtechnik von Hochaspektverhältnis-Rinnen.