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Flexible Multielektrodenarrays mit glaskohlenstoffhaltigen (GC) Elektroden und metallischen Verbindungen (hybride MEAs) haben vielversprechende Leistungen in der multikanaligen neurochemischen Sensorik gezeigt. Eine Hauptschwierigkeit bei der Herstellung hybrider MEAs ist die Haftung der metallischen Spuren an den GC-Elektroden, da längere elektrische und mechanische Stimulation zu Haftungsversagen führen kann. Frühere Geräte mit GC-Elektroden und Verbindungen aus einem homogenen Material (alle GC) wiesen eine außergewöhnliche elektrochemische Stabilität auf, benötigten jedoch eine Miniaturisierung zur Verbesserung der Gewebeintegration und chronischen elektrochemischen Sensorik. In dieser Studie verwendeten wir zwei verschiedene Methoden zur Herstellung aller GC-MEAs auf dünnen flexiblen Substraten mit miniaturisierten Merkmalen. Die erste Methode, wie bereits zuvor berichtet, beinhaltet einen doppelt Musterübertragungs-Photolithografieprozess, einschließlich Transferbindung auf einem temporären polymeren Träger. Die zweite Methode erfordert einen doppelten Ätzprozess, der eine 2 µm dicke, spannungsarme Siliziumstickstoffbeschichtung des Si-Wafers als untere Isolatorschicht für die MEAs nutzt, wodurch der Musterübertragungsprozess umgangen wird und eine neuartige Technik mit potenziellen Vorteilen demonstriert wird. Wir bestätigten die Machbarkeit der beiden Herstellungsprozesse, indem wir die praktische Leitfähigkeit von 3 µm breiten und 2 µm dicken GC-Spuren, die Funktionalität der GC-Mikroelektroden und deren Sensorkapazität zur Detektion von Serotonin mittels schneller zyklischer Voltammetrie überprüften. Durch den Austausch und die Diskussion von Erkenntnissen über die Stärken und Grenzen dieser Mikrofertigungsmethoden ist es unser Ziel, den Fortschritt von GC-basierten MEAs für die nächste Generation von neuronalen Schnittstellengeräten voranzutreiben.
Faul et al. (Do,) haben diese Frage untersucht.