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Einstellbare Sub-10 nm 1D-Nanospalten werden basierend auf Nanoschneiden gefertigt. Das elektrische Feld in unterschiedlich großen Nanospalten wird theoretisch und experimentell untersucht, was eine nichtmonotone Abhängigkeit und eine optimierte Spaltenbreite (5 nm) ergibt. 2D-Nanospaltenarrays werden hergestellt, um dichtere Spalten durch Kombination von Oberflächenstrukturierungstechniken anzuordnen. Innovativ werden 3D-Multistory-Nanospalten durch ein Stapelverfahren erstellt, was eine höhere Integration und ein deutlich verbessertes elektrisches Feld ermöglicht.
Zhou et al. (Do.,) haben diese Frage untersucht.