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RhO2 gehört zur Familie der leitenden Platinmetalloxide, die als neue Elektrodenmaterialien für Kondensatoren in dynamischen Zufallszugriffspeichern (DRAMs) und nichtflüchtigen ferroelektrischen Zufallszugriffspeichern (FeRAMs) Aufmerksamkeit erregt haben. Rh, Rh2O3 und RhO2-Dünnfilme wurden durch Sputtern hergestellt und ihre XPS-Spektren wurden mit einer monochromatischen Al Kα Röntgenquelle aufgenommen. Dieser Bericht enthält XPS-Spektren der Rh 3d- und O 1s-Kernregionen für diese Filme.
Abe et al. (Sun,) haben diese Frage untersucht.
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