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Erstmals wurde hochaufgelöste Elektronenstrahl-Kontaminationslithografie zur Herstellung aktiver Sensorgeräte verwendet. dc SQUIDs (Supraleitende Quanteninterferenzgeräte) mit Linienbreiten von nur 30 nm haben eine minimale intrinsische Energieauflösung von 3h gezeigt. Dies ist der beste Wert für jeden SQUID bis heute und nähert sich der Grenze ≈ h, die durch das Unschärfeprinzip gesetzt wird. Die Abhängigkeit des Spannungsrauschens von den SQUID-Parametern stimmt mit einem neuen Kleinsignalsmodell des SQUID-Rauschens überein.
Voss et al. (Mi,) haben diese Frage untersucht.
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