Generierung und Vernichtung von Fallen in Metall-Oxid-Halbleiterbauelementen nach negativer Luft-Koronaufladung

Oberflächen- und Volumenfallen sowie die Ansammlung positiver Oxidladungen wurden in Metall-Oxid-Halbleiterkondensatoren festgestellt, wenn sie einer negativen Luft-Koronablitzentladung bei leicht reduziertem Druck (≂10−1 Torr) ausgesetzt waren. Die Effekte werden neutralisiert und die Gerätequalität verbessert, wenn sie bei 200 °C in Luft geglüht werden. Die Volumenfallen und ein Teil der Oxidladungen waren glühbar, wenn sie mehrere Monate bei Raumtemperatur gehalten wurden. Die Ergebnisse wurden mit Nicollian–Goetzberger’s Leitfähigkeitstechnik analysiert, und es wird eine plausible Erklärung gegeben.