Silicon-diffundierte piezoresistive Membranen

Die Eigenschaften eines Drucktransducers, der aus einer einkristallinen Silikonmembran mit spannungssensitiven piezoresistiven Regionen besteht, die durch die lokale Diffusion von Verunreinigungen gebildet werden, wurden theoretisch und experimentell untersucht. Die longitudinalen und transversalen Piezoresistivitätseffekte werden diskutiert und die Ergebnisse auf das Spannungsmuster einer deformierten Membran angewendet. Die Bedingungen, unter denen die Spannung in der Membran linear mit dem angelegten Druck variiert, werden behandelt und es wird eine gute Übereinstimmung zwischen der vorhergesagten und der gemessenen Empfindlichkeit in sowohl den linearen als auch den nichtlinearen Fällen gefunden.