Fächerstrahlsteuergerät mit einem photonischen Kristall-Slow-Light-Wellenleiter und Oberflächenbeugungsgitter

Kompakte nicht-mechanische Strahlsteuergeräte sind nicht nur für aktuelle gängige Anwendungen gewünscht, sondern auch für fortgeschrittene Anwendungen wie Lichtdetektion und -messung. Wir verwenden einen Si-photonischen Kristall-Slow-Light-Wellenleiter mit einem Beugungsgitter, das den geführten Modus in den freien Raum ausstrahlt und einen Fächerstrahl durch Wellenlängenänderung lenkt. Aufgrund seiner großen Winkelstreuung verbessert langsames Licht den Steuerungsbereich, ohne die Strahlqualität zu beeinträchtigen, was zu mehr Auflösungspunkten führt. Wir haben Geräte mit 600 μm gefertigt und einen Steuerungsbereich von 23° sowie eine Strahldivergenz von 0,23° beobachtet, was 100 Auflösungspunkte ergab.