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Ein neuer Sensor wird vorgeschlagen, der Arrays von Interferenzfiltern mit Resonanzkästen hoher Interferenzordnung (Fabry-Perot-Resonatoren) kombiniert und sowohl die hohen Fähigkeiten zur genauen Dickenkontrolle in Siliziumsubstraten, die aus der Mikroelektronik und der Dünnschichtoptik stammen, nutzt. Das Interesse an dieser Art von Gerät wäre die Herstellung von hochauflösenden Multigas-Sensoren, kompakt, ohne bewegliche Teile, zur genauen Messung von Gasen mit niedrigen Konzentrationen.
López et al. (Mon,) haben diese Frage untersucht.