Silizium-Nanobrücken mit ultrahoher Dichte, gebildet zwischen zwei vertikalen Siliziumoberflächen

Wir berichten über das gleichzeitige laterale Wachstum einer hohen Dichte hochorientierter, metallkatalysierter Silizium-Nanodrähte auf einem strukturierten Siliziumsubstrat und die Überbrückung von Nanodrähten zwischen zwei vertikalen Silizium-Seitenwänden, die zu Elektroden eines elektronischen Bauelements weiterentwickelt werden können. Nach schräger Abscheidung katalytischer Metallnanopartikel auf einer von zwei gegenüberliegenden vertikalen Siliziumoberflächen verwendeten wir einen metallkatalysierten chemischen Gasphasenabscheidungsprozess, um Nanodrähte wachsen zu lassen und schließlich mechanisch robuste „Nanobrücken“ zu bilden. Das Wachstum und die Überbrückung dieser Nanodraht-Arrays lassen sich in bestehende Siliziumprozesse integrieren. Diese Methode zur Verbindung mehrerer Nanodrähte zwischen zwei Elektroden bietet das hohe Oberfläche-zu-Volumen-Verhältnis, das für Nanosensor-Anwendungen erforderlich ist.