Plastische Verformung magnetische Montage (PDMA) von aus der Ebene ragenden Mikostrukturen: Technologie und Anwendung

Diese Arbeit präsentiert Ergebnisse zur Entwicklung und Anwendung einer dreidimensionalen (3-D) Mikrostrukturmontagetechnik – Plastische Verformung magnetische Montage (PDMA). Bei PDMA wird ein bestimmter Teil der Mikrostruktur, die montiert werden soll, durch die magnetische Kraft deformiert, die aus der Wechselwirkung zwischen einem auf der Mikrostruktur deponierten magnetischen Materialstück und einem externen Magnetfeld entsteht. Infolgedessen kann die gesamte Mikrostruktur aufgrund der plastischen Verformung in einem Ruhewinkel zur Substratoberfläche verbleiben. Der Grad der plastischen Verformung und der Ruhewinkel sind stark abhängig von den Eigenschaften und den geometrischen Parametern des Deformationsbereichs der Mikrostruktur sowie des magnetischen Materialstücks. Eine allgemeine Designregel für PDMA wurde gegeben; PDMA ist in der Lage zur Montage im Batch-Maßstab. Sie wurde erfolgreich zur Herstellung neuartiger mikromontierter Geräte mit hoher Ausbeute und guter Steuerbarkeit angewendet. Als Beispiel wurden die Ergebnisse eines neuartigen vertikalen planaren Spiralinduktors, der durch Anwendung von PDMA realisiert wurde, in der Arbeit vorgestellt.