A medida que los procesos de semiconductores se reducen a nodos de menos de 10 nm, los contaminantes moleculares en el aire (AMCs) se han convertido en factores críticos que afectan el rendimiento y la calidad del producto. Las técnicas analíticas convencionales enfrentan limitaciones en la implementación de monitoreo en tiempo real y multipunto a través de instalaciones de salas limpias cada vez más grandes debido a altos costos y restricciones espaciales. Como alternativa, los sensores de gas quimiorresistivos han ganado atención significativa debido a su alta sensibilidad, diseño rentable e integración electrónica sencilla. Esta revisión destaca el impacto de los AMCs en el rendimiento de dispositivos en entornos de fabricación de semiconductores y resume sistemáticamente las últimas estrategias de detección para cada grupo de AMC, incluyendo especies ácidas, básicas y otros compuestos, como los compuestos orgánicos volátiles (COV). Al integrar la investigación sobre sensores quimiorresistivos en el monitoreo ambiental y aplicaciones de seguridad, también presenta estrategias integrales para desarrollar sensores de alto rendimiento aplicables a la industria de semiconductores. Finalmente, la revisión discute tanto el potencial como los desafíos técnicos restantes de implementar sistemas de monitoreo de AMC en tiempo real en futuros entornos de fabricación de semiconductores.
Kim et al. (Jue,) estudiaron esta cuestión.