Cuantificación de la precisión de los sistemas de elipsometría

Resumen A medida que la diversidad y complejidad de las aplicaciones elipsométricas continúan aumentando, también lo hacen los requerimientos para la precisión de los datos elipsométricos. En la conferencia ICSE‐3 anterior, Aspnes identificó este problema y sugirió un objetivo de 0.1% para la precisión elipsométrica 1. Desafortunadamente, no existe un método generalmente aceptado para caracterizar o cuantificar la precisión de los datos elipsométricos. En este artículo, se propone un método simple y una métrica para cuantificar la precisión de un sistema de elipsometría. (© 2008 WILEY‐VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim)