Conception mécanique d'un instrument RADSI à flexion parallèle pour la métrologie des miroirs à rayons X courbés

Les lignes de faisceau à rayons X des synchrotrons modernes nécessitent des optiques réfléchissantes avec une précision de profil de surface plus élevée pour atteindre un focalisation limitée par diffraction. Cela nécessite des instruments de métrologie avancés capables de fournir des mesures répétables dans la plage du nanomètre au sous-nanomètre. Des plages de pente dépassant 15 mrad (0,86°) posent des défis significatifs pour la métrologie des miroirs utilisant des méthodes interférométriques conventionnelles. Pour y remédier, nous présentons un nouvel instrument d'interférométrie de couture déterminable par angle relatif, dotée d'une conception mécanique à flexion parallèle. Cette approche améliore la stabilité des vibrations et thermique tout en maintenant un système compact et léger. Les mesures initiales d'un miroir cylindrique avec un rayon de courbure de 16 m et une plage de pente de 5 mrad démontrent une répétabilité au niveau nanométrique. La caractérisation complète du système suggère le potentiel d'une répétabilité au sous-nanomètre avec un affinement supplémentaire de l'instrument.