Caractérisation des microfissures induites par la fabrication dans les composants optiques

Les microfissures se produisent lors de la chaîne de fabrication conventionnelle (trempe, polissage), mais aussi à la suite du traitement au laser à impulsions ultra-courtes de matériaux durs et fragiles, tels que ceux fréquemment utilisés dans l'industrie optique. Des méthodes non destructives, telles que la tomographie par cohérence optique, sont discutées afin de comprendre le développement des dommages en surface et de permettre un contrôle du processus sans consommation d'échantillons. Des méthodes d'essai destructives seront nécessaires pour valider ces méthodes. La gravure par faisceau appliquée à la silice fondue par jet de plasma ou faisceau d'ions est présentée. L'application de la gravure par jet de plasma réactif entraîne une rugosité induite par le processus. Néanmoins, des trous et des défauts significatifs peuvent être détectés. Aucun renforcement supplémentaire ne se produit avec la gravure par faisceau d'ions. Les deux processus de gravure par faisceau appliqués garantissent que les petits défauts sont agrandis, permettant ainsi à ces microfissures d'être détectées même si elles ne sont pas directement visibles sur la surface initiale. Pour une détermination précise de la profondeur des défauts proéminents et à bords vifs, l'interférométrie à lumière blanche est limitée. La microscopie à fluorescence par balayage laser confocal est présentée comme une technique de mesure alternative pour déterminer et visualiser le développement de l'étendue des défauts avec une attaque de gravure croissante.