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Résumé Les performances des dispositifs quantiques supraconducteurs à la pointe de la technologie sont actuellement limitées par la perte dielectrique micro-onde à différentes interfaces. L'α-tantalum est un supraconducteur qui a prouvé son efficacité dans la réduction de la perte dielectrique et l'amélioration des performances des dispositifs grâce à son mince oxyde à faible perte. Ici, nous démontrons la fabrication de résonateurs à guide d'ondes coplanaires en α-tantalum de facteur de qualité élevé directement sur des wafers en silicium pur de 300 mm dans une variété de conditions de dépôt de métal et effectuons une étude complète de caractérisation matérielle et électrique. De plus, nous appliquons un traitement de surface basé sur de l'acide hydrofluorique qui nous permet de modifier différentes surfaces des résonateurs, entraînant une réduction de la perte des systèmes à deux niveaux dans les dispositifs par un facteur de trois. Cette réduction de perte peut être entièrement attribuée à l'élimination des oxydes de surface. Notre étude indique que la fabrication à grande échelle de circuits supraconducteurs à faible perte devrait effectivement être faisable et suggère une voie viable pour des avancées basées sur les matériaux dans les performances des circuits supraconducteurs.
Lozano et al. (Mar,) ont étudié cette question.