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L'objectif est de mettre en lumière les récents développements dans les technologies MEMS et NEMS et leurs applications.

February 5, 2026Open Access

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Éditorial pour le numéro spécial sur les dispositifs et applications MEMS/NEMS, 3ème édition

ZDZhi-Xuan DaiNational Chung Hsing University TOTakahito OnoTohoku University CDChing-Liang Dai

Key Points

L'objectif est de mettre en lumière les récents développements dans les technologies MEMS et NEMS et leurs applications.
Examiner les avancées dans les technologies MEMS et NEMS
Discuter des applications dans la détection intelligente
Analyser les tendances et les futures directions dans le domaine
Identification des développements rapides dans les MEMS et NEMS
Mise en évidence de l'importance de ces dispositifs dans les applications de détection
Présentation des avancées potentielles futures et des défis

Abstract

Les systèmes microélectromécaniques (MEMS) et les systèmes nanoélectromécaniques (NEMS) ont connu un développement rapide et soutenu ces dernières années et sont devenus des technologies clés pour la détection intelligente ...

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