Correction : Gawlińska-Nęcek et al. Influence de la température de conditionnement sur les défauts dans la couche double Al2O3/ZnO déposée par la méthode ALD. Materials 2021, 14, 1038

Key Points

• Étudier comment différentes températures de conditionnement influencent la formation de défauts dans les couches d'oxyde d'aluminium/oxyde de zinc déposées par la méthode ALD.
• Analyse des couches déposées par dépôt de couches atomiques (ALD) à différentes températures de conditionnement.
• Caractérisation des défauts réalisée à l'aide de techniques appropriées (non spécifiées dans le texte).
• Comparaison de la qualité des couches résultantes en fonction des ajustements de température.
• Identification d'une corrélation entre des températures de conditionnement plus élevées et une densité de défauts accrue.
• Constatation que des plages de température spécifiques entraînaient moins de défauts, optimisant ainsi la qualité des couches.