Guides d'onde cantilever courbes en GaAs pour le couplage vertical aux circuits intégrés photoniques

Nous rapportons la nanofabrication et la caractérisation de coupleurs de convertisseurs de taille de spot optique basés sur des guides d'onde cantilever courbes en GaAs. En utilisant le décalage de contrainte entre le substrat de GaAs et les bandes déposées de Cr-Ni-Au, des guides d'onde monomodes peuvent être pliés hors du plan de manière contrôlable. Une orientation stable et verticale de l'out-coupler est obtenue en verrouillant le convertisseur de taille de spot à un angle fixe de 90 ∘ via des forces à courte portée. La transmission optique est caractérisée en fonction de la température et de la polarisation, aboutissant à un couplage large bande de puce à fibre s'étendant sur une largeur de bande de longueur d'onde de 150 nm à des températures cryogéniques, avec la limite inférieure de l'efficacité de couplage dans le mode TE étant de 16±2% dans l'intervalle 900-1050 nm. Les méthodes rapportées ici sont entièrement compatibles avec la technologie des circuits intégrés photoniques quantiques avec des émetteurs à points quantiques, et ouvrent des opportunités pour concevoir de nouveaux dispositifs photoniques avec une fonctionnalité améliorée.