Efficacité quantique externe élevée soutenue dans des micro-LED bleues III-nitrure ultracompactes

Des diodes électroluminescentes micro-bleues InGaN ultracompactes (μLEDs) avec des surfaces allant de 10-4 à 0,01 mm2 ont été fabriquées pour étudier leurs propriétés optiques et électriques. Les efficacités quantiques externes maximales (EQE) des plus petites et des plus grandes μLED étaient respectivement de 40,2 et 48,6 %. La différence d'EQE provient de la recombinaison non radiative résultant de dommages d'etching. Cette diminution est moins sévère que celle observée dans les LED rouges AlInGaP. La baisse d'efficacité à 900 A/cm2 de la plus petite μLED était de 45,7 %, contre 56,0 % pour la plus grande, et était inférieure en raison d'une amélioration de la répartition du courant. Ces résultats montrent que des μLED ultracompactes peuvent être fabriqués sans perte significative de performance optique ou électrique.