Mesure de capacité à haute résolution et potentiométrie par microscopie à force atomique

Nous démontrons l'utilité et la haute sensibilité du microscope à force atomique (AFM) pour l'imagerie des propriétés dielectriques de surface et pour la potentiométrie à travers la détection des forces électrostatiques. Des forces électriques aussi petites que 10−10 N ont été mesurées, correspondant à une capacité de 10−19 farad. La sensibilité de notre AFM devrait finalement nous permettre de détecter des capacités aussi faibles que 8×10−22 F. La méthode nous permet de détecter la présence de matériau diélectrique sur Si, et de mesurer la tension dans une jonction p-n avec une résolution spatiale submicron.