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Nous avons construit un microscope de corrélation basé sur la configuration de l'interféromètre Mirau en utilisant un séparateur de faisceau en film mince de nitrure de silicium. Ce microscope fournit des informations d'amplitude et de phase pour le signal réfléchi d'un échantillon situé dans le plan objet du microscope. L'appareil est remarquablement insensible aux vibrations et s'auto-corrige pour les aberrations sphériques et chromatiques de l'objectif. Une théorie de l'imagerie pour le microscope de corrélation a été élaborée, qui prédit avec précision à la fois la résolution transversale à un bord net et la résolution de portée pour un réflecteur plan parfait. La résolution de portée est légèrement meilleure que celle d'un microscope optique à balayage utilisant une lentille avec la même ouverture.
Kino et al. (Mon,) ont étudié cette question.