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Résumé Nous rapportons des avancées dans la fabrication de modulateurs électro-optiques Mach-Zehnder réalisés en liant un film mince de niobate de lithium (LN) non gravé à une seconde puce avec des guides d'onde en une autre matière, comme le silicium. Les dispositifs ont été fabriqués après avoir stocké des puces silicon-LN liées dans un environnement de laboratoire commun pendant plus de trois ans. Les puces ont survécu à l'ensemble du processus de fabrication et ont produit des modulateurs avec une largeur de bande électro-optique de 50 GHz à 3 dB, et V π L inférieure à 3 V cm à 1550 nm, avec une performance équivalente à celle de puces fraîchement liées et traitées. De plus, nous démontrons la co-intégration de modulateurs hybrides en film mince liés et de résonateurs en anneau à facteur de qualité élevé basés sur la photonique silice, ainsi que de filtres optiques microronds couplés d'ordre supérieur. Les résonateurs en microrond en silicium sont utilisés pour la génération de paires de photons à 1550 nm par mélange à quatre ondes spontanées. Ces résultats montrent la faisabilité d'une procédure de fabrication de modulateurs modulaires, où les étapes de planarisation et de liaison sont réalisées pour un lot de puces en une seule fois et où des sous-lots plus petits sont personnalisés par les utilisateurs finaux à un moment beaucoup plus tard selon leurs besoins et leur convenance.
Mere et al. (Mar,) ont étudié cette question.