ベント温度がマグネトロンスパッタリングしたTiN薄膜の表面化学を決定する

マグネトロンスパッタリングによって成長した耐火性セラミックス遷移金属窒化物薄膜の表面特性は、すべての現代のアプリケーションで必要な酸化に対する抵抗性にとって不可欠です。ここでは、成長後の残留プロセスガスへの曝露やベント温度Tvなど、通常無視されがちな要因について取り上げ、そのそれぞれが表面化学に影響を与えることを示します。TiNモデル材料系において、Tvが反応した表面層の組成と厚さの進化に大きな影響を与えることが実証されており、したがって報告されるべきです。これらの現象は、X線光電子分光法による信頼できる表面評価にも影響を与えることが示されています。