Методами магнетронного напыления на постоянном токе (DCMS) и высокомощного импульсного магнетронного напыления (HIPIMS) при пиковых токах 50 и 100 A, а также при подаче на подложку отрицательного напряжения смещения –500В с использованием мишени состава TiAlC получены наноструктурные покрытия в системе Ti–Al–C толщиной 1.8–6.4 мкм. Основной фазой в покрытиях являлся карбид титана, при использовании HIPIMS дополнительно образовывался интерметаллид TiAl. Установлено, что покрытия, осажденные методом DCMS, обладают максимальными твердостью 31 и модулем упругости 294 ГПа, а также низким коэффициентом трения 0.2, тогда как метод HIPIMS при использовании оптимальных режимов обеспечивает минимальный приведенный износ 5,1·10 ммНм, термическую стабильность и жаростойкость до 1000°С. Защитные свойства связаны с формированием плотных поверхностных пленок на основе оксида алюминия. Применение HIPIMS с подачей на подложку высокого отрицательного напряжения смещения способствует выделению кристаллитов MAX-фаз TiAlC и TiAlC с размером кристаллитов менее 100 нм при вакуумном отжиге покрытий при 1000°С.
Kiruhancev-Korneev et al. (2025) studied this question.