고분자 박막의 CVD: 센서, 생명공학, 마이크로 전자기기/유기 전자기기, 미세유체역학, MEMS, 복합재료 및 막의 응용

조정 가능한 기능을 가진 고분자는 마이크로 및 나노 엔지니어링 물질을 합리적으로 설계할 수 있는 능력을 제공합니다. 고분자를 박막으로 합성하면 사용되는 재료의 양이 줄어들고 가공 시간이 빨라지며, 필드의 구조적 특성을 유지하면서 표면을 수정할 수 있는 등의 중요한 이점이 있습니다. 게다가, 저렴한 비용, 제작의 용이성 및 가공 라인에 쉽게 통합될 수 있는 능력 때문에 무기 박막 대안으로 매력적인 옵션이 됩니다. 화학 기상 증착(CVD)은 모든 기능성을 보존하는 다양한 고분자 박막을 제작하는 데 유용한 플랫폼을 제공합니다. 용매가 없는 기상 증착은 고분자 박막이나 나노구조를 마이크로 및 나노 장치에 통합하여 성능을 향상시킬 수 있습니다. 본 리뷰에서는 기능성 고분자 박막의 CVD와 중합 메커니즘을 소개합니다. 그들의 행동을 결정하는 고분자 박막의 특성이 논의되고, 기술적 발전과 응용이 검토됩니다.